福田結晶技術研究所 電話番号 022-303-0170

ZnO(水熱合成法)

 ZnO(酸化亜鉛)単結晶は、バンドギャップと格子定数が窒化ガリウム(GaN)と非常に近いことからLEDやGaN成膜エピタキシャル基板などで注目されています。また、圧電材料として各種センサー材料としても応用できます。
 当社では、中型水熱合成炉(オートクレーブ)と白金内筒により、半導体製造工程で問題にならないよう低抵抗(低リチウム)ZnO単結晶や、圧電素材用高抵抗ZnO単結晶を作製できます。

特徴

  • 水晶の量産で実績のある水熱合成法作製
  • 3インチまでのZnO単結晶が製造可能
  • c面、a面、m面の提供が可能
  • 様々なドープ実験も可能
  • 現在国内でZnO単結晶を作成できるのは当社だけ

主な用途

燃焼圧センサー、紫外線センサー、青色/UV帯発光デバイス
シンチレーター、窓材など広い応用範囲

プロジェクト実績

国家プロジェクト(科学技術振興機構)研究成果最適展開支援プログラム(2012~14年)
「ピコ秒応答性高機能シンチレーターZnO結晶の大型結晶育成量産実用化技術の開発」

中型水熱合成炉 内径 250mmφ 2基
3インチ ZnO結晶
3″φ ZnOウエハ

ランガサイト

LTGA (La3Ta0.5Ga5.3Al0.2O14)

主な用途

タイヤ空気圧センサー、情報家電用センサー
温度センサー、燃焼圧センサー

プロジェクト実績

  • METI戦略的基盤技術高度化支援事業
    「高機能次世代圧電センサー用単結晶製造技術の開発」(2007~09年)
  • 中小企業製品開発支援助成金 「LTGA単結晶を用いた無線温度センサー開発」(2009~10年)

4″φ引上げ製造装置
2″φ無色LTGA単結晶
4”φ有色LTGA単結晶
LTGA ランバード品

当社技術を使って作成した主な結晶

CZ法

μ-PD法

ソルボサーマル法

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