その他単結晶
ZnO（水熱合成法）
ZnO（酸化亜鉛）単結晶は、バンドギャップと格子定数が窒化ガリウム（GaN）と非常に近いことからLEDやGaN成膜エピタキシャル基板などで注目されています。また、圧電材料として各種センサー材料としても応用できます。
当社では、中型水熱合成炉（オートクレーブ）と白金内筒により、半導体製造工程で問題にならないよう低抵抗（低リチウム）ZnO単結晶や、圧電素材用高抵抗ZnO単結晶を作製できます。
特徴
- 水晶の量産で実績のある水熱合成法作製
- ３インチまでのZnO単結晶が製造可能
- c面、a面、m面の提供が可能
- 様々なドープ実験も可能
- 現在国内でZnO単結晶を作製できるのは当社だけ
主な用途
燃焼圧センサー、紫外線センサー、青色/UV帯発光デバイス
シンチレーター、窓材など広い応用範囲
プロジェクト実績
JST（科学技術振興機構) 研究成果最適展開支援プログラム（2012-14）
「ピコ秒応答性高機能シンチレーターZnO結晶の大型結晶育成量産実用化技術の開発」
ランガサイト
LTGA (La3Ta0.5Ga5.3Al0.2O14)
主な用途
タイヤ空気圧センサー、情報家電用センサー
温度センサー、燃焼圧センサー
プロジェクト実績
- METI戦略的基盤技術高度化支援事業
「高機能次世代圧電センサー用単結晶製造技術の開発」（2007～09年） - 中小企業製品開発支援助成金
「LTGA単結晶を用いた無線温度センサー開発」（2009～10年）
当社技術を使って作成した主な結晶
CZ法
- リソグラフィー用大口径CaF2単結晶、8″φ MgF2、4″φ LiCaAlF6 T社含む国内外5社以上
- サファイア6″φ単結晶 T社、K社等含む国内外5社以上
- ランガサイト、LTGA 3社
- 逆磁歪式振動発電Fe-Ga単結晶 K社
- SAWデバイス用LT 国内外3社
μ-PD法
- シンチレーター用結晶 P社、H社等
- サファイア板, チューブ N社、M社等
ソルボサーマル法
- アモノサーマル法 GaN M社、A社
- 水熱合成法 ZnO T社等
