福田結晶技術研究所 電話番号 022-303-0170

Ni 単結晶基板材料・構造材料

特徴

  • 単結晶(CZ法による独自の結晶育成技術)
  • 大口径6“φインゴット作製、8“φインゴットも作製可能
  • グラフェンに対する格子不整合率小(不整合率 1.3%)

用途

  • ダイヤモンド用基板(1)
  • GaN 用基板、InN 用基板
  • グラフェン用基板、h-BN用基板
Ni単結晶インゴット

利用が期待される用途

グラフェン用の基板
(グラフェン / Ni)

グラフェンウエハの模式図(2)(3)

GaN用基板 
(GaN / h-BN / Ni)

GaN自立基板作製の模式図(4)

参考文献

(1) 鈴木一博、ダイヤモンドのヘテロエピタキシャル成長の基板整合性、ポストシリコン半導体
   ~ナノ成膜ダイナミクスと基板・界面効果~、(株)エヌ・ティー・エス、298-309 (2013).
(2) K. S. Kim et al., Nature, 457, 706–710 (2009).
(3) Yu S. Dedkov and M. Fonin, New J. Phys., 12, 125004 (2010) .
(4) T. Fukuda, T. Matsuoka, and S. Suzuki, 10th Intern. Conf. Polish Soc. for Crystal Growth (ICPSCG10),
  (Zakopane, Poland, Oct. 15 – 21, 2016).

現在開発中のその他金属単結晶

  • Cu単結晶
  • Fe-Al合金単結晶
  • 超磁歪Fe2Tb0.27Dy0.73合金単結晶など
鉄単結晶(Siドープ)
Fe50Si50 単結晶
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